基本信息

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文档摘要

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拼接干涉仪拼接测量方法的深度剖析与实践应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学工程领域，光学元件作为核心组成部分，其精度和质量对整个光学系统的性能起着决定性作用。随着科学技术的迅猛发展，光学系统在天文观测、光刻技术、激光核聚变、生物医学成像等众多前沿领域得到了广泛应用，对光学元件的尺寸和精度要求也日益严苛。大口径、高精度的光学元件成为满足这些高端应用需求的关键。例如，在天文观测中，大口径的光学望远镜镜面能够收集更多的光线，提高观测的灵敏度和分辨率，帮助天文学家探测更遥远、更微弱的天体；在光刻技术中，高精度的光学元件是实现芯片微小化、提高芯片性能的重要保障。

然而，制造大口径光学元件