基本信息
文件名称:工程材料表征技术-课件 第四章 扫描电子显微术.ppt
文件大小:8.89 MB
总页数:69 页
更新时间:2025-07-09
总字数:约1.48万字
文档摘要
*扫描电镜的构造及表征参量如图1所示,扫描电子显微镜由电子光学系统,信号收集和图像显示记录系统,真空系统三个基本部分组成图1扫描电子显微镜的结构原理图*一、电子光学系统(镜筒)1.电子枪扫描电镜中的电子枪与透射电镜基本相同,也有热发射和场发射两种,只是加速电压较低,一般最高为30kV2.电磁透镜扫描