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文件名称:工程材料表征技术-课件 4.2 扫描电镜的构造及表征参量.ppt
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总页数:10 页
更新时间:2025-07-09
总字数:约4.14千字
文档摘要

*扫描电镜的构造及表征参量如图1所示,扫描电子显微镜由电子光学系统,信号收集和图像显示记录系统,真空系统三个基本部分组成图1扫描电子显微镜的结构原理图*一、电子光学系统(镜筒)1.电子枪扫描电镜中的电子枪与透射电镜基本相同,也有热发射和场发射两种,只是加速电压较低,一般最高为30kV2.电磁透镜扫描