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文档摘要

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半导体薄膜厚度测量技术考核试卷

考生姓名：答题日期：得分：判卷人：

本次考核旨在评估考生对半导体薄膜厚度测量技术的掌握程度，包括原理、方法、应用及实际操作等方面。

一、单项选择题（本题共30小题，每小题0.5分，共15分，在每小题给出的四个选项中，只有一项是符合题目要求的）

1.薄膜厚度测量的基本原理是利用薄膜对光的干涉现象，以下哪种波长范围的光通常用于薄膜厚度测量？（）

A.紫外光

B.可见光

C.红外光

D.微波

2.在薄膜干涉测量中，若入射光的波长为λ，薄膜的厚度为t，反射光的光程差为ΔL，则ΔL的表达式为（）。

A.