基本信息

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文档摘要

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SOI霍尔磁传感器：从制作工艺到特性解析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技的迅猛发展进程中，传感器作为获取信息的关键部件，发挥着不可或缺的作用。霍尔磁传感器作为传感器家族中的重要一员，基于霍尔效应实现对磁场的精确检测与测量，凭借其高精度、高可靠性、低功耗以及易于集成等显著优势，在工业、汽车、医疗等众多领域得到了极为广泛的应用，有力地推动了这些领域的技术进步与发展。

在工业自动化领域，精确的位置检测和速度测量对于保障生产过程的高效、稳定运行至关重要。霍尔磁传感器能够精准地检测电机的转速和位置，从而实现闭环控制，有效提高工业生产的效率和质量。在自动化生产线中，它可以实时监测机械部件的位