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文档摘要

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化工仪表及自动化;§2.4电气式压力计;1.应变片压力传感器;该传感器采用单晶硅片为弹性元件，利用集成电路的工艺在单晶硅膜片上沿特定方向扩散一组多个等值电阻，并将电阻接成桥路。单晶硅片置于传感器腔内，一侧连接高压，另一侧连接低压。

当两侧存在压差时，硅片发生形变，从而使单晶硅片上的电阻阻值发生变化，导致电桥失去平衡，输出相应的电压信号。;特点;霍尔片式压力传感器是根据霍尔效应制成的，也就是利用霍尔片将由压力产生的弹性元件的形变位移转换成霍尔电势，从而测量压力的大小。;图2-10霍尔片式弹簧管压力传感器

1—弹簧管；2—磁钢；3—霍尔片;图2-10霍尔片式弹簧管压力传感器

1—弹