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文档摘要

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1、照明系统：是由电子枪、聚光镜、消像散器、合轴线圈组成。作用是提供一束亮度高，照明孔径角小、束流稳定的照明光源。（1〕电子枪是TEM的发射源，作用相当LM的照明光源。EM采用由阴极、栅极和阳极构成的三极式电子枪。阴极称为灯丝，由钨丝制成，当阴极加负高压，电流使灯丝加热，产生热电子，并在阳极的作用下，栅极的控制下发射出运动速度极高的电子束。*（2）、聚光镜其作用是将电子枪发射的电子束会聚在样品上，控制照明度、电子束的大小和孔径角。聚光镜由三级电磁透镜构成，此外还包括聚光镜光栏、合轴线圈、消像散器等。*2、成像系统：是EM获得高分辨率、高放大倍率的重要组成部分，由