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文档摘要

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低成本一维硅纳米结构的制备工艺与性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，纳米材料作为材料科学领域的前沿研究对象，因其独特的物理化学性质和潜在的广泛应用价值，受到了科研人员的高度关注。其中，一维硅纳米结构以其特殊的结构和优异的性能，在众多领域展现出了巨大的应用潜力，成为了研究的热点之一。

硅，作为最重要的半导体材料之一，在半导体工业和微电子制造技术领域占据着举足轻重的地位，其成熟的加工工艺为一维硅纳米结构的制备和应用奠定了坚实的基础。一维硅纳米结构主要包括硅纳米线、硅纳米管等，这些结构具有大的长径比、高的各向异性以及特殊的晶体结构和表面效应。例如，由于尺寸效应