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2025年半导体设备研发：技术路线选择与产业升级动力参考模板

一、2025年半导体设备研发：技术路线选择与产业升级动力

1.1技术路线选择

1.1.1先进制程技术路线

1.1.2新材料、新工艺技术路线

1.1.3智能化、自动化技术路线

1.2产业升级动力

1.2.1政策支持

1.2.2企业主体作用

1.2.3市场需求

1.2.4人才培养

二、半导体设备研发的关键技术

2.1先进光刻技术

2.1.1EUV光刻技术

2.1.2纳米压印技术

2.2刻蚀技术

2.2.1干法刻蚀技术

2.2.2湿法刻蚀技术

2.3清洗技术

2.3.1超纯水清洗技术

2.3.2化学清洗