基本信息

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文档摘要

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试验方案简介

试验目的

1、系统整理出材质损耗与不同溶液、不同化学反映温度准时刻的关系，完善理论依据和标准：

2、摆脱偶发性试验的局限性，探讨多元化溶液配方，查找最优参数：

3、分析不同因素点对作业结果的阻碍，优化工艺流程；

4、为进一步解决小范用问题供给数据参照，提高工作质量和工作效率。

试验可行性

伴随着半导体产业和TFT产业的进展，工业化标准和要求也愈来愈髙，在进展表而处置的进程中也将会遇到更多种类的膜质构造。与此同时，相应的半导体设备和TFT设备淸洗部件的材质和构造也在渐渐的优化和改善，这使得补充试验数据作为参照显得尤其重要。

化学试验本钱低廉，设备简洁，可控变量多