基本信息

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文档摘要

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探寻微悬臂梁品质因数调控技术的多维度机理与应用拓展

一、引言

1.1研究背景与意义

微悬臂梁作为一种基于微机电系统（MEMS，MicroElectroMechanicalSystem）技术的微结构，凭借其高灵敏度、小尺寸、低功耗等显著优势，在众多领域得到了极为广泛的应用。在原子力显微镜（AFM，AtomicForceMicroscope）中，微悬臂梁充当着微力传感元件和扫描成像探针的关键角色，能够实现对样品表面微观形貌和力学性质的高精度检测。在物理、生物和化学检测领域，它又作为传感器换能元件，将微小的物理、化学变化或生物分子反应过程转化为可记录的电学信号，展现出极高的灵敏度。