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文档摘要

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MEMS黏着接触特性：理论、模型与应用洞察

一、绪论

1.1MEMS的发展与应用

MEMS，即微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems），是一种将微小型的机械结构（包括传感器、执行器等）、信号传输/处理器、控制电路等集成到芯片级别的器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。这一技术融合了电子、机械、材料、物理学、化学等多学科知识，是典型的多学科交叉前沿领域。MEMS最大的物理特点在于其微型化和集成化，具有小型化、低功耗、高可靠性、多功能、精度高以及成本低等诸多优势，这些特点使其在现代科技领域中展现出独特的魅力和巨大的发展潜力。

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