基本信息
文件名称：TZOIA-硅微谐振压力传感器性能试验方法编制说明.pdf
文件大小：266.84 KB
总页数：7 页
更新时间：2025-07-17
总字数：约5.51千字
文档摘要
《硅微谐振压力传感器性能试验方法》
标准编制说明
《硅微谐振压力传感器性能试验方法》标准起草组
2024年7月8日
1、标准范围。
本标准规定了硅微谐振压力传感器性能的试验条件、试验的一般规定、试验
项目及试验方法、数据计算及处理。
2、工作简况。
2024年6月，中关村光电产业协会发布关于《硅微谐振压力传感器性能试
验方法》的团体标准立项审查通知。课题组启动了硅微谐振压力传感器性能试验
方法编制的相关准备工作，对国内外压力传感器性