面向2025年：半导体设备研发技术路线选择与产业生态构建参考模板

一、面向2025年：半导体设备研发技术路线选择与产业生态构建

1.1技术背景

1.2技术路线选择

1.2.1集成电路制造设备

1.2.1.1光刻设备

1.2.1.2刻蚀设备

1.2.1.3沉积设备

1.2.2半导体封装设备

1.2.2.1封装测试设备

1.2.2.2芯片键合设备

1.2.2.3引线框架设备

1.3产业生态构建

1.3.1政策支持

1.3.2产业链协同

1.3.3人才培养

1.3.4国际合作

二、半导体设备研发技术路线的具体实施策略

2.1技术研发与创新

2.1.1基础研究投入

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