基本信息

---

下载

文档摘要

---

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

/—//:

GBT329962025ISOTS251382025

代替/—

GBT329962016

表面化学分析辉光放电发射光谱法

分析金属氧化物膜

—

SurfacechemicalanalsisAnalsisofmetaloxidefilmsblowdischare

yyygg

oticalemissionsectrometr

ppy

(/:,)

ISOTS251382025IDT

2025-06-30发布2026-01-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—//:

GBT329962025ISOTS251382025

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4原理………………………1

5仪器………………………1

6调节辉光放电谱仪系统设置……………3

7取样………………………9

8建立工作曲线……………9

9测试样品的分析…………………………14

10分析结果的表示………………………15

11精密度…………………16

12试验报告………………16

()………

附录资料性工作曲线常数的计算和深度剖析的定量评价

A