半导体设备研发技术路线2025：智能化与自动化应用前景参考模板

一、半导体设备研发技术路线2025：智能化与自动化应用前景

1.1智能化设备研发

1.1.1智能化检测技术

1.1.2智能化工艺控制

1.1.3智能化故障诊断与维护

1.2自动化设备研发

1.2.1自动化生产流程

1.2.2自动化物流与仓储

1.2.3自动化测试与检验

1.3智能化与自动化技术的融合

1.3.1智能化与自动化协同

1.3.2智能化与自动化协同创新

1.3.3智能化与自动化协同应用

二、半导体设备智能化与自动化技术发展趋势

2.1智能化检测技术发展趋势

2.2智能化工艺控制技术发展趋势

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