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文档摘要

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异形检测技术的光学测量方法

目录

1,内容概述3

1.1研究背景与意义4

1.异形检测概述5

1.3光学测量方法简介7

1.4本文研究内容与结构8

,异形检测的光学原理9

.1光的传播与干涉10

.光的包亍身寸与偏振1

.3基于光学原理的异形检测方法分类13

3,常用光学测量技术14

3.1光学轮廓测量技术15

3.1.1结构光测量16

3.