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文件名称：单晶薄膜生长实验预习报告.pdf
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总页数：2 页
更新时间：2025-07-19
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文档摘要
单晶薄膜生长（预习报告）
：学号：5140729006实验日期：2016/10/28
【实验原理】
一、分子束外延
分子束外延生长，顾名思义，就是
结构进行生长。它是一种沉积单晶薄
膜的方法。在真空腔内，源材料通过
高温蒸发、加热蒸发、气体裂解等
方