《纳米制造关键控制特性第6-9部分：石墨烯基材料薄层电阻涡流法》标准化发展报告

StandardizationDevelopmentReportonNanomanufacturing—Keycontrolcharacteristics—Part6-9:Graphene-basedmaterial—Sheetresistance—Eddycurrentmethod

摘要

随着石墨烯材料在柔性电子、透明导电薄膜等领域的广泛应用，其关键性能参数——薄层电阻的准确测量成为产业化的技术瓶颈。传统四探针接触式测量方法存在损伤样品表面、无法实现大面积快速检测等问题。本报告围绕