《纳米制造关键控制特性第6-10部分：石墨烯基材料薄层电阻太赫兹时域光谱法》标准发展报告

StandardforNanomanufacturing—KeyControlCharacteristics—Part6-10:Graphene-BasedMaterials—SheetResistance—TerahertzTime-DomainSpectroscopyMethod

摘要

石墨烯因其优异的电学性能在电子、能源、传感器等领域具有广泛应用前景，但传统测试方法（如四探针法、微波谐振腔法等）难以满足大尺寸石墨烯薄膜的无损、高精度测量需求。本报告围绕《纳米制造关键控