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4H-SiC肖特基二极管工艺制备分析概述

目录

TOC\o1-3\h\u301854H-SiC肖特基二极管工艺制备分析概述 1

246461.14H-SiCSBD结构图 1

303691.2具体工艺流程介绍 1

255141.3常用的肖特基二极管表征技术 6

150841.3.1X射线衍射（XRD） 6

35881.3.2扫描电子显微镜（SEM） 6

118651.3.3透射电子显微镜（TEM） 7

214871.3.4能量色散X射线光谱仪（EDX） 7

1.14H-SiCSBD结构图

下图所示即为肖特