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目录

TOC\o1-3\h\z\u1工序目的 3

2设备简介 3

2.1设备动作分解 3

2.2设备功能和原理介绍 3

3动作流程 8

4工艺原理 8

4.1化成原理概述 8

4.2SEI膜的理化性质 9

4.3SEI成膜机制： 10

5工艺参数. 10

6来料管控要求 11