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目录

TOC\o1-3\h\z\u1工序目的 3

2设备简介 3

2.1设备功能和原理介绍 3

2.2设备动作分解 3

2.3设备主要部件 4

2.3.1自动扫条码机构 4

2.3.2机械手 4

2.3.3测试腔体 4

2.3.4氦检仪 4

2.3.5真空泵 4

2.3.6入盘