基本信息
文件名称：GBT-半导体晶片近边缘几何形态评价 第3部分：扇形区域平整度法（ESFQR、ESFQD、ESBIR）.pdf
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总页数：8 页
更新时间：2025-07-19
总字数：约8.78千字
文档摘要
ICS77.040
CCSH21
中华人民共和国国家标准
半导体晶片近边缘几何形态评价第3部
分：扇形区域平整度法（ESFQR、ESFQD、
ESBIR)
Practicefordeterminingsemiconductorwafernear-edgegeometry—Part3:Sector