基本信息
文件名称：TZOIA-探针卡技术规范编制说明.pdf
文件大小：248.17 KB
总页数：6 页
更新时间：2025-07-20
总字数：约2.41千字
文档摘要
《探针卡技术规范》
标准编制说明
中国科学院微电子研究所标准起草组
2024年11月6日
1、标准范围。
本标准规定了半导体测试用探针卡的分类、技术要求、试验方法、
验收规则、标志、包装、运输和贮存等要求。本标准适用于半导体晶
圆测试中使用的探针卡的制造。
2、工作简况
2.1任务来源
《探针卡技术规范》来源于中关村光电产业协会2024年第1批
修订计划，项目编号为T/XXXXXXX--XXXX。由中关村光电产业协
会提出并归口，负责起草单位：中国科学院微电子研究所