基本信息

---

下载

文档摘要

---

化合物半导体的外延生长设备合作协议书

PAGE

PAGE1

化合物半导体的外延生长设备合作协议书

目录

TOC\o1-9概论 4

一、化合物半导体的外延生长设备项目建设地分析 4

(一)、化合物半导体的外延生长设备项目选址原则 4

(二)、化合物半导体的外延生长设备项目选址 5

(三)、建设条件分析 6

(四)、用地控制指标 7

(五)、用地总体要求 8

(六)、节约用地措施 10

(七)、总图布置方案 12

(八)、运输组成 14

(九)、选址综合评价 17

二、工程设计说明 17

(一)、建筑工程设计原则 17

(二)、化合物半导体的外延生长设