基本信息

---

下载

文档摘要

---

ICS77.040

CCSH21

中华人民共和国国家标准

/—

GBT194442025

代替/—

GBT194442004

硅片氧沉淀特性的测试

间隙氧含量减少法

—

Testmethodforoxenreciitioncharacteristicsofsiliconwafers

ygpp

Interstitialoxenreduction

yg

2025-06-30发布2026-01-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT194442025

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《—》,/—

本文件代替GBT194442004硅片氧沉淀特性的测定间隙氧含量减少法与GBT19444

,,:

2004相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

)(,);

更改了适用范围见第章年版的第章

a120041

)();

增加了术语和定义见第章

b3

)(,);

更改了方法原理见第章年版的第章

c420043

)();

增加了干扰因素见第章

d5

)();

增加了试验条件见第章

e6

)