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文档摘要

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硅纳米结构阵列：制备工艺与光学性能的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，纳米技术已成为众多领域的研究热点，其中硅纳米结构阵列由于其独特的物理性质，在光电器件、能源转换与存储、生物医学等领域展现出巨大的应用潜力，对纳米技术的发展起到了重要的推动作用。研究硅纳米结构阵列的制备方法及其光学性能，不仅有助于深入理解纳米材料的物理特性，还能为其在实际应用中的优化和拓展提供理论依据和技术支持。

硅作为一种重要的半导体材料，在现代电子学中占据着核心地位。随着纳米技术的兴起，硅纳米结构阵列因其具有高比表面积、量子限域效应、尺寸效应等独特性质，使其在诸多领域的应用研究备受关注。在光电