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一文看懂X-射线光电子能谱法（上）

X-射线光电子谱仪（X-rayPhotoelectronSpectroscopy，简称为XPS），经常又被称为化学分析用电子谱（ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis，简称为ESCA），是一种最主要的表面分析工具。

XPS作为当代谱学领域中最活跃的分支之一，它除了可以根据测得的电子结合能确定样品的化学成份外，XPS最重要的应用在于确定元素的化合状态。XPS可以分析导体、半导体甚至绝缘体表面的价态，这也是XPS的一大特色，是区别于其它表面分析方法的主要特点。此外，