MEMS悬臂梁磁场传感器与谐振悬臂梁电磁驱动技术：原理、应用与前沿探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）技术作为一种前沿的交叉学科技术，正逐渐成为推动现代科技进步的关键力量。MEMS技术融合了微电子学、微机械学、材料科学、传感器技术等多个领域的知识，能够将微小的机械结构、传感器、执行器以及电子电路集成在一个微小的芯片上，实现微型化、智能化和多功能化的系统。自20世纪60年代硅微型压力传感器问世开创MEMS技术先河以来，MEMS技术经历了多轮发展浪潮，在不同领域取得了显著