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一文看懂X-射线光电子能谱法（下）

在昨天的文章

中我们介绍了有关XPS基本原理、仪器结构和使用方法。今天我们趁热打铁，进入实战环节，继续介绍有关XPS实验技术、实验实例。

一、实验技术

1、样品的制备和处理

XPS能谱仪对分析的样品有特殊的要求，所以待分析样品需要根据情况进行一定的预处理。

由于在实验过程中样品必须通过传递杆，穿过超高真空隔离阀，送进样品分析室。因此对样品的尺寸有一定的大小规范，以利真空进样。通常固体薄膜或块状样品要求切割成面积大小为0.5cm×0.8cm大小，厚度小于4mm。为了不影响真空，要求样品要尽量干燥。另外，装样品不要使用纸袋，以免纸纤维污染样品表