基本信息

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文档摘要

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文件名称：真空Baking炉设备技术规格书

文件编号：

版本号：V1.0

Confidential()Level3隐私()Level2高密(v)Level1低密

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设备技术规格书

设备名称：

真空Baking炉

起草人：

审核人：

批准人：

发布日期：

2017年3月3日

修订履历

序号

版本

内容

修订人

修订日期

批准人

1

V1.0

首次发行。

2017/3/3

2

目录

一、设备简介

1.1设备功能

1.2设备工艺流程

1.3设备总体结构及要