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多层膜结构声表面波器件简介概述

声表面波SAW是沿物体表面传播，能量集中于表面附近的一种弹性波，在固体里都会存在，但需要特殊的方式去激励。与流体不一样，流体只有我们所说的压缩波或者压力波，流体没办法承受剪切，而固体即可以承受抗弯也可以抗压，有剪切波的存在。压缩波会使固体体积的一个变化，会导致固体伸展伸缩，产生波纹。剪切波的传播方向是与振动方向相互垂直的，才会产生包括瑞利波（Rayleighwave）,乐甫波（Lovewave）。

图1-1瑞利波（Rayleighwave）,乐甫波（Lovewave）

常见的声表面波器件的基本结构就是在