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文档摘要

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《四甲基氢氧化铵五水合物》团体标准

征求意见稿编制说明

一、任务来源

四甲基氢氧化铵五水合物，简称TMAH，是一种重要的精细化工产品，广泛应用于半导体工业、医药中

间体合成、分析试剂以及有机合成等领域。由于其独特的化学性质和应用价值，TMAH在现代工业中扮演着

不可或缺的角色。

在半导体工业中，TMAH主要用于硅片的蚀刻过程。随着电子信息技术的飞速发展，对半导体材料的精

度和纯度要求越来越高。TMAH作为一种高选择性的蚀刻剂，能够精确地控制蚀刻速率和方向，保证了半导

体器