基本信息
文件名称：T_CIET 1279-2025 碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT）.docx
文件大小：121.69 KB
总页数：14 页
更新时间：2025-07-26
总字数：约7.71千字
文档摘要
ICS29.045CCSQ44
TCIET
团体标准
T/CIET1279—2025
碳化硅单晶生长技术规范物理气相传输
法（PVT）
Technicalspecificationforsiliconcarbidesinglecrystalgrowth—Physicalvapor
transportmethod(PVT)
2025-05-14发布2025-05-14实施
中国国际经济技术合作促进