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文档摘要

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直线伺服系统鲁棒控制：理论、方法与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业自动化进程中，直线伺服系统凭借其高精度、高响应速度以及直接驱动等显著优势，成为诸多关键领域不可或缺的核心组成部分。从精密的半导体制造设备，到高度自动化的数控机床，再到先进的机器人系统，直线伺服系统的身影无处不在，它如同工业领域的“精准执行者”，为各种复杂任务的高效、精确完成提供了坚实保障。在半导体芯片制造中，芯片的加工精度要求达到纳米级，直线伺服系统能够精确控制光刻机等设备的运动，确保光刻过程中图案的准确转移，直接影响芯片的性能和集成度；在数控机床领域，直线伺服系统能够实现刀具的快速、精确移动，提高加工效率和