基本信息
文件名称：半导体设备用碳化硅陶瓷零部件.docx
文件大小：57.36 KB
总页数：17 页
更新时间：2025-07-27
总字数：约5.7千字
文档摘要
ICS81.060.30CCSQ32
团体标准
T/CI961—2025
半导体设备用碳化硅陶瓷零部件
Siliconcarbideceramiccomponentsforsemiconductorequipment
2025-04-15发布2025-04-15实施
中国国际科技促进会中国标准出版社
发布出版
I
T/CI961—2025
目次
前言 Ⅲ
1范围 1
2规