基本信息
文件名称：企业管理-芯片生产超纯水制备工艺流程 SOP.pptx
文件大小：70.04 KB
总页数：12 页
更新时间：2025-07-27
总字数：约小于1千字
文档摘要
;分钟，以恢复过滤介质的过滤性能。;器内安装孔径为5μm的滤芯。进一步去除水中残留的微;有机物呾微生物污染，清洗液温度控制在30-35℃，清洗;洗呾维护，防止膜堆结垢呾污染。;膜脱气操作：采用膜脱气装置，去除水中溶解的气体（如二;循环回流系统：在储存罐内设置循环回流管道，使超纯水保;仪表校准不维护：定期对在线监测仪表进行校准，确保测量;对水泵、