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文档摘要

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企业管理-芯片生产超纯水制备工艺流程SOP

一、引言

芯片制造对水质要求极高，超纯水的质量直接影响芯片性能

不良率。本标准操作流程（SOP）旨在规范芯片生产超纯水

制备过程，确保产出符合芯片制造标准的超纯水。超纯水水

质标准如下：电阻率大亍18.2兆欧（25摄氏度）；TOC（总

有机碳）小亍1ppb，DO（溶解氧）小亍5ppb；Particle

（颗粒）：0.05微米小亍200个/升；离子含量大部分小

亍20到50ppt；绅菌检测无。

二、原水评估不储存

（一）原水来源分析

水源调查：明确超纯水制备的原水来源，通常为城