基本信息

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文档摘要

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企业管理-掩膜版制备的工艺流程SOP

一、基板准备

（一）基板选择

材料要求：选用符合高精度要求的石英玱璃基板，其纯度需

达到99.99%以上，具有低膨胀系数、高透光率和良好的

化学稳定性。基板表面粗糙度应控制在纳米级别，以确保

后续工艺的精度。

觃格确认：根据客户需求或生产计划，确认基板的尺寸、厚

度等觃格参数。常见的掩膜版基板尺寸有6英寸、8英寸、

12英寸等，厚度一般在3-6mm，确保基板觃格符合后续

光刻、蚀刻等工艺设备的要求。

（二）基板清洗

预清洗：将基板放入与用的清洗槽中，使用去离子水进行初

步冲洗，去除表面的灰