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文档摘要

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金属掺杂调控氧化钇薄膜性能及制备工艺的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

氧化钇（Y_2O_3）薄膜作为一种重要的稀土氧化物薄膜，凭借其独特的物理化学性质，在现代科学技术领域中展现出广泛的应用前景，备受科研人员的关注。从晶体结构来看，氧化钇通常呈现为立方相结构，这种结构赋予了它许多优异的本征特性。在光学方面，其具有较宽的光学透明范围，涵盖了从近紫外到红外的波段，且在可见光区理论透光率可达80%以上，同时在红外波段也具备高透过率的特性，这使其在光学元件制造领域，如红外透镜、红外窗口材料的制备中发挥着重要作用。举例来说，在红外探测系统中，红外窗口需要能够高效透过红外光线，氧化钇薄膜