ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT201762025ISO142372010

代替/—

GBT201762006

表面化学分析二次离子质谱

用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

——

SurfacechemicalanalsisSecondar-ionmasssectrometrDetermination

yypy

ofboronatomicconcentrationinsiliconusinuniformldoedmaterials

gyp

(:,)

ISO142372010IDT

2025-06-30发布2026-01-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT201762025ISO142372010

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3原理………………………1

4参考物质…………………1

4.1一级参考物质………………………1

4.2二级参考物质………………………1

5仪器………………………2

6样品………………………2

7步骤………………………2

7.1二次离子质谱仪器的调试…………2

7.2优化二次离子质谱仪器的设定……………………3

7.3进样…………………3

7.4被测离子……………3

7.5校准…