基本信息
文件名称：磁控溅射十一组.pdf
文件大小：314.32 KB
总页数：4 页
更新时间：2025-07-29
总字数：约3.67千字
文档摘要
磁控溅射镀膜
一、实验目的
通过实验了解磁控溅射这一薄膜的原理、操作及特点。
二、实验原理
气相沉积技术作为一种日趋成