ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

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GBT457702025ISO130952014

表面化学分析原子力显微术

用于纳米结构测量的原子力显微镜

探针柄轮廓原位表征程序

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SurfacechemicalanalsisAtomicforcemicroscoProcedureforinsitu

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characterizationofAFMrobeshankrofileusedfornanostructuremeasurement

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(:,)

ISO130952014IDT

2025-06-30发布2026-01-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT457702025ISO130952014

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号和缩略语……………2

5探针表征程序……………4

5.1确定AFM探针形状的方法………………………4

5.2参考样品设置………………………4

和成像的要求…………

5.3AFMAFM5

5.4探针柄轮廓的测量…………………5

5.5探针柄轮廓测量的不确定度………………………7

6探针特征报告……………8

()………………

附录A资料性AFM图像对测量模式和设置的依赖性9

()………………