ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT457732025ISO225812021

表面化学分析X射线光电子能谱全扫

描谱的准实时信息含碳化合物表面

污染的识别和校正规则

—

SurfacechemicalanalsisNearreal-timeinformationfromthe

y

—

X-rahotoelectronsectroscosurvescanRulesfor

ypppyy

,,

identificationofandcorrectionforsurfacecontamination

bcarbon-containincomounds

ygp

(:,)

ISO225812021IDT

2025-06-30发布2026-01-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT457732025ISO225812021

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号和缩略语……………1

5样品污染…………………2

5.1概述…………………2

5.2污染来源……………2

5.3污染识别……………2

6膜厚度的评估及其影响的校正…………8

6.1膜厚度………………8

6.2基底成分的校正……………………8

()…………………