ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT201752025ISO146062022

代替/—

GBT201752006

表面化学分析溅射深度剖析

用层状膜系为参考物质的优化方法

——

SurfacechemicalanalsisSutterdethrofilin

ypppg

Otimizationusinlaeredsstemsasreferencematerials

pgyy

(:,)

ISO146062022IDT

2025-06-30发布2026-01-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT201752025ISO146062022

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号和缩略语……………1

5设置溅射深度剖析参数…………………2

5.1概要…………………2

5.2俄歇电子能谱………………………2

5.3X射线光电子能谱…………………3

5.4二次离子质谱………………………3

6溅射深度剖析时理想突变界面的深度分辨……………3

6.1深度分辨的测量……………………3

6.2平均溅射速率Zav……………………4

6.3深度分辨Δz………………………4

7参数设定优化的步骤………………………