半导体器件第14-12部分：半导体传感器——基于CMOS成像的气体传感器性能测试方法发展报告

SemiconductorDevices—Part14-12:SemiconductorSensors—PerformanceTestMethodsforCMOSImaging-BasedGasSensors

摘要

随着医疗、环境监测、食品安全和工业安全等领域对气体检测需求的不断提升，传统气体传感器（如非色散红外式、电化学式、催化燃烧式等）在集成度、多参数检测和智能化方面存在局限性。基于CMOS成像的气体传感器因其微型化、高集成度、低成本及与人工智能技术的兼容性，成为新一代气体