锂氮掺杂氧化锌薄膜晶体管：制备工艺与性能优化的深度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今数字化时代，电子设备已深度融入人们的生活，从日常使用的手机、平板电脑，到高端的计算机、显示器等，都离不开各种电子元件的协同工作。薄膜晶体管（Thin-FilmTransistor，TFT）作为现代电子领域的关键元件之一，在众多电子设备中发挥着举足轻重的作用。它是一种以沉积形成的半导体、金属和绝缘体薄膜组成的场效应器件，广泛应用于显示领域中的液晶显示器（LCD）、有机发光二极管（OLED）等，传感领域中的生物传感器、气敏传感器等，以及探测领域中的量子点薄膜晶体管探测器等。其工作原理是通过在控制栅