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微波开关中的无源器件分析概述

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TOC\o1-3\h\u20728微波开关中的无源器件分析概述 1

182561.1微带线 1

259021.2电阻 2

184501.3电感 2

277401.4电容 4

1.1微带线

本次设计中多次用到了微带线作为电路连接匹配单元，其等效结构如下：

图5微带线截面图

由图可知，微带线是由基片介质上的带状金属与接地金属层构成的，使用了MET1、MET2或者双层金属结构。本次设计使用的工艺库中MET1金属层的厚度为1.33μm。MET2顶层金属的厚度为4μm，其厚度较大且与衬底间的耦合较小，其损耗较小，故而常常使用