基本信息

---

下载

文档摘要

---

探索空间相移干涉测量：方法、关键技术与应用突破

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代科学技术迅猛发展的大背景下，精密测量已然成为众多领域取得突破与进步的关键支撑，其重要性不言而喻。从微观层面的纳米材料特性探究，到宏观层面的大型机械结构性能评估，精密测量技术都发挥着不可或缺的作用。在半导体制造领域，芯片的集成度不断提高，对光刻精度的要求已达到纳米量级，精密测量技术能够确保芯片制造过程中的尺寸精度和图形质量，从而保证芯片的性能和可靠性。在航空航天领域，飞行器的设计和制造需要对各种零部件进行高精度的测量，以确保飞行器在复杂的飞行环境下能够安全稳定地运行。

相干干涉技术作为精密测量领域中的重要组成